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摘要：本发明提供一种形成曝光设备的一部分的结构体，所述曝光设备包括构造成在保持原稿的同时在基部上移动的台和构造成将原稿的图案图像投影到基板上的投影光学系统，所述结构体包括：板，所述板布置在所述台的移动路径与所述投影光学系统之间；以及多个支撑构件，所述多个支撑构件布置成沿着板的下表面延伸并且构造成通过接触下表面来支撑板。本发明还涉及一种曝光设备和一种制品制造方法。
主权项：1.一种形成曝光设备的一部分的结构体，所述曝光设备包括构造成在保持原稿的同时在基部上移动的台和构造成将所述原稿的图案图像投影到基板上的投影光学系统，所述结构体包括：板，所述板布置在所述台的移动路径与所述投影光学系统之间；以及多个支撑构件，所述多个支撑构件布置成沿着所述板的下表面延伸并且构造成通过接触所述下表面来支撑所述板。
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百度查询： 佳能株式会社 结构体、曝光设备及制品制造方法
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