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摘要：本申请涉及一种半导体制造设施用吸尘器，包括：吸气装置和可变吸嘴。吸气装置用于产生吸力，可变吸嘴与吸气装置连接；可变吸嘴包括主体部分和进气管，进气管连接在主体部分的进气端，进气管能够在外力作用下发生变形以改变管口大小。本申请所提供的半导体制造设施用吸尘器，具有可变吸嘴，进气管管口大小可以改变，因此可以便于针对机台内空间的宽窄变化而相应地调节吸嘴的大小，有利于吸尘器在机台内全面作业，将晶片碎片打扫干净，避免机台损坏。
主权项：1.一种半导体制造设施用吸尘器，其特征在于，包括：吸气装置1，用于产生吸力；可变吸嘴2，所述可变吸嘴2与所述吸气装置1连接；所述可变吸嘴2包括主体部分21和进气管22，所述进气管22连接在所述主体部分21的进气端，所述进气管22能够在外力作用下发生变形以改变管口大小。
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百度查询： 粤芯半导体技术股份有限公司 一种半导体制造设施用吸尘器
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