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摘要：本发明的适用于等离子清洗机的防电弧产生装置，包括罩覆载片台的密闭腔室，于所述腔室内设有通过升降杆悬置于载片台顶部的压环，所述压环用于环压置于载片台上的待加工的圆片。通过压环环压圆片，使得圆片边缘与载片台之间的间隙减小或直接贴合，从而防止电弧放电现象的产生。该装置可以让机台兼容翘曲度在5mm以内的圆片，支持机台连续自动作业，有效提高机台在作业翘曲片时的生产效率，具有很强的实用性和广泛地适用性。
主权项：1.适用于等离子清洗机的防电弧产生装置，其特征在于，包括罩覆载片台的密闭腔室，于所述腔室内设有通过升降杆悬置于载片台顶部的压环，所述压环用于环压置于载片台上的待加工的圆片。
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百度查询： 江苏芯德半导体科技股份有限公司 适用于等离子清洗机的防电弧产生装置
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