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摘要：本实用新型提供一种晶圆研磨装置，包括：工作盘可旋转地设于基座、设于所述基座并用以调整所述工作盘倾斜度的支撑模块，以及用以对所述工作盘上放置的晶圆进行研磨的研磨件；其中，所述工作盘未相对于所述基座倾斜时，基准面正交于所述工作盘的旋转轴线，所述基座具有投影于所述基准面的中心点，所述中心点重合于所述工作盘的旋转轴线；所述支撑模块具有固定支撑件、第一调节支撑件及第二调节支撑件，此三者投影于所述基准面分别形成固定支撑点、主调节支撑点及微调支撑点，所述固定支撑点与所述微调支撑点的连线通过所述中心点。
主权项：1.一种晶圆研磨装置，其特征在于，所述晶圆研磨装置包括：基座；工作盘，可旋转地设于所述基座，用以放置待研磨的晶圆；支撑模块，设于所述基座，用以对所述工作盘提供支撑及调整所述工作盘相对于所述基座的倾斜度；及研磨件，用以对所述工作盘上放置的晶圆进行研磨；其中，所述工作盘未相对于所述基座倾斜时，基准面正交于所述工作盘的旋转轴线，所述基座具有投影于所述基准面的中心点，所述中心点重合于所述工作盘的旋转轴线；所述支撑模块具有固定支撑件、第一调节支撑件及第二调节支撑件，所述固定支撑件具有投影于所述基准面的固定支撑点，所述第一调节支撑件具有投影于所述基准面的主调节支撑点，所述第二调节支撑件具有投影于所述基准面的微调支撑点，所述固定支撑点与所述微调支撑点的连线通过所述中心点。
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百度查询： 东台精机股份有限公司 晶圆研磨装置
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