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摘要：本实用新型涉及晶圆放置技术领域，特别是一种内存芯片晶圆承载装置，包括晶圆盒，所述晶圆盒内部的一侧通过轴承转动连接有第一丝杆，所述第一丝杆的一端固定连接有第二丝杆，所述第一丝杆的另一端固定连接有旋钮。本实用新型的优点在于：通过所述第一丝杆、第二丝杆、旋钮、移动座、刻度标识、置物板、空心套筒、安装槽和U形防护垫的配合设置，通过两个所述置物板上的若干个U形防护垫能够对晶圆进行承载支撑操作，并且能够根据晶圆的实际尺寸调节两个所述置物板之间的距离，从而使得该内存芯片晶圆承载装置能够承载较多尺寸的晶圆，扩大了该内存芯片晶圆承载装置的适用范围，提高了该内存芯片晶圆承载装置的实用性和结构灵活性。
主权项：1.一种内存芯片晶圆承载装置，其特征在于：包括晶圆盒1，所述晶圆盒1内部的一侧通过轴承转动连接有第一丝杆2，所述第一丝杆2的一端固定连接有第二丝杆3，所述第一丝杆2的另一端固定连接有旋钮4，所述第一丝杆2和第二丝杆3的外表面均螺纹连接有移动座5，所述晶圆盒1内部的底侧设置有与移动座5位置相对应的刻度标识6，两个所述移动座5上均设置有缓冲结构7，两个所述缓冲结构7上均设置有置物板8，两个所述置物板8的底侧均固定连接有两个空心套筒9，两个所述置物板8的一侧均开设有若干个安装槽10，若干个所述安装槽10的内壁均固定连接有U形防护垫11。
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百度查询： 深圳市舟鸿半导体科技有限公司 一种内存芯片晶圆承载装置
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