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一种晶圆用切割机 

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摘要:本实用新型公开了一种晶圆用切割机,涉及晶圆切割技术领域,包括底板和安装板,所述安装板固定设置于底板的顶部,所述连接板的上方设置有两个转杆,每个所述转杆的一端均固定设置有橡胶压盘,两个所述橡胶压盘之间卡接有晶圆本体,所述推板的侧壁固定设置有第一电机,所述第一电机的输出轴固定设置有切割盘。本实用新型通过设置的两个橡胶压盘,将晶圆本体压接与两个橡胶压盘之间,通过驱动机构能够驱动其中一个转杆和橡胶压盘进行转动,两个橡胶压盘与晶圆本体之间的摩擦力能够带动另一个转杆同步进行转动,且摩擦力能够保证切割盘对晶圆本体稳定进行切割,从而实现了晶圆本体任意侧边的切割,提高了切割效率。

主权项:1.一种晶圆用切割机,包括底板1和安装板2,其特征在于,所述安装板2固定设置于底板1的顶部,所述安装板2的侧壁固定设置有连接板3,所述连接板3的上方设置有两个转杆4,每个所述转杆4的一端均固定设置有橡胶压盘5,其中一个所述转杆4的另一端转动连接于连接板3的侧壁,两个所述橡胶压盘5之间卡接有晶圆本体6,所述底板1的顶部固定设置有侧板7,所述侧板7的侧壁固定设置有电动推杆8,所述电动推杆8的输出轴固定设置有推板9,所述推板9的侧壁固定设置有第一电机10,所述第一电机10的输出轴固定设置有切割盘11,所述切割盘11与晶圆本体6相匹配,所述安装板2的侧壁设置有驱动机构,其中一个所述转杆4与驱动机构相匹配。

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