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摘要：本实用新型公开一种旋转升降机构，涉及化学气相沉积技术领域，包括内部机构、密封机构、旋转机构和升降机构，内部机构伸入化学气相沉积炉内，其包括托盘，托盘内设置有顶升轴；旋转机构包括旋转驱动机构和旋转轴，旋转驱动机构能够带动旋转轴转动，且旋转轴能够沿旋转驱动机构上下移动；升降机构与旋转轴转动连接，且能够带动旋转轴上下移动；密封机构包括密封连接件及密封内轴，密封内轴能够带动密封连接件转动，并沿密封连接件上下移动，旋转轴的顶部通过密封内轴与顶升轴固定连接，密封连接件的顶部与托盘固定连接。本实用新型还公开一种化学气相沉积炉，包括上述的旋转升降机构。本实用新型能够提高涂层基体的涂层均匀性，并降低涂层盲点。
主权项：1.一种旋转升降机构，其特征在于：包括内部机构、密封机构、旋转机构和升降机构，所述内部机构能够伸入化学气相沉积炉内，所述内部机构包括托盘，所述托盘用于放置涂层基体，所述托盘内沿轴向设置有顶升轴；所述旋转机构包括旋转驱动机构和旋转轴，所述旋转驱动机构能够带动所述旋转轴转动，且所述旋转轴能够沿所述旋转驱动机构上下移动；所述升降机构设置于所述旋转机构的下方，所述升降机构与所述旋转轴转动连接，且能够带动所述旋转轴上下移动；所述密封机构包括密封连接件及沿轴向设置于所述密封连接件内的密封内轴，所述密封内轴能够带动所述密封连接件转动，并沿所述密封连接件上下移动，所述旋转轴的顶部通过所述密封内轴与所述顶升轴固定连接，所述密封连接件的顶部与所述托盘固定连接。
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百度查询： 株洲瑞德尔智能装备有限公司 旋转升降机构及化学气相沉积炉
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