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摘要：本实用新型属于振动装置技术领域，公开了一种六自由度纳米级振动装置，其包括底座、起振平台和六条并联的支链机构。支链机构包括压电式激振器和两个活动铰链，压电式激振器通过一个活动铰链与底座相连，压电式激振器通过另一个活动铰链与起振平台相连。活动铰链包括依次相连的第一短节、第一连接件、第二短节、第二连接件和第三短节。本实施例利用压电陶瓷促动器的纳米级别的高精位移分辨率，通过并联六轴的结构形式，形成了六自由度的纳米级起振平台。
主权项：1.六自由度纳米级振动装置，其特征在于，包括底座600、起振平台100和六条并联的支链机构200，所述支链机构200包括压电式激振器300和两个活动铰链400，所述压电式激振器300通过一个所述活动铰链400与所述底座600相连，所述压电式激振器300通过另一个所述活动铰链400与所述起振平台100相连，所述活动铰链400包括依次相连的第一短节1、第一连接件4、第二短节2、第二连接件5和第三短节3，所述第一短节1和所述第二短节2两者中的一者上设有沿Z轴凸出的第一V型凸起11，另一者上设有第一V型凹槽，所述第一V型凸起11嵌设于所述第一V型凹槽，所述第一V型凸起11与所述第一V型凹槽具有第一预设间隙21，所述第一V型凹槽的槽宽方向沿Y轴延伸，所述第二短节2和所述第三短节3两者中的一者上设有沿Z轴凸出的第二V型凸起31，另一者上设有第二V型凹槽，所述第二V型凸起31嵌设于所述第二V型凹槽，所述第二V型凸起31与所述第二V型凹槽具有第二预设间隙22，所述第二V型凹槽的槽宽方向沿X轴延伸，X轴、Y轴和Z轴三者之间两两垂直，Z轴与第二短节2的轴线延伸方向重合，所述压电式激振器300沿Z轴伸缩。
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百度查询： 中国科学院高能物理研究所 散裂中子源科学中心 六自由度纳米级振动装置
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