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摘要：本申请涉及镀膜技术领域，具体涉及一种垫板组件和镀膜设备，以解决镀膜设备中工艺腔体碎裂后容易污染加热腔室的问题。该垫板组件包括至少一个垫板，由于垫板设置于加热腔室与工艺腔体之间，并且至少位于工艺腔体的下方，在工艺腔体碎裂的情况下，工艺腔体的碎片会掉落在其下方的垫板组件上，使得垫板组件可以接住工艺腔体的碎片，防止其污染加热腔室。此外，这样设置，使得垫板组件可以对加热炉起到保护作用，工艺腔体的碎片会掉落在垫板组件的表面，在清理加热腔室内的工艺腔体的碎片时，可以在垫板组件的表面将工艺腔体的碎片清理出去，从而降低碎片刮伤加热炉的风险，延长了加热炉的使用寿命。
主权项：1.一种垫板组件，其特征在于，应用于镀膜设备，所述镀膜设备包括加热炉和工艺腔体，所述加热炉包括加热腔室，所述工艺腔体设置于所述加热腔室内，所述垫板组件包括：至少一个垫板，设置于所述加热腔室与所述工艺腔体之间；其中，所述垫板至少位于所述工艺腔体的下方。
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百度查询： 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 垫板组件和镀膜设备
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