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一种用于氮化硅烧结炉的汇流柜 

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摘要:本实用新型涉及氮化硅烧结炉汇流柜领域,且公开了一种用于氮化硅烧结炉的汇流柜,包括箱体,所述箱体正表面设有控制面板,所述控制面板上设有多个构成各种按键的按键部,所述箱体顶端开设有若干个进气口和出气口,所述箱体右侧设有调压过滤器门,所述调压过滤器门下设有若干个散热口,所述箱体背部设有气体安装盖板,所述气体安装盖板下设有压缩空气盖板,所述控制面板下设有可推拉的柜门,通过调压过滤器门、气体安装盖板、压缩空气盖板和柜门开启进行单个部分的维修,从而解决了汇流柜整个拆装的问题,提高了维修人员的工作效率,降低了劳动强度,节约了成本。

主权项:1.一种用于氮化硅烧结炉的汇流柜,包括箱体,其特征在于:所述箱体正表面设有控制面板,所述控制面板上设有多个构成各种按键的按键部,所述箱体顶端开设有若干个进气口和出气口,所述箱体右侧设有调压过滤器门,所述调压过滤器门下设有若干个散热口,所述箱体背部设有气体安装盖板,所述气体安装盖板下设有压缩空气盖板,所述控制面板下设有可推拉的柜门。

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