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摘要：本实用新型公开了一种晶圆工装夹具及晶圆加工设备。所述晶圆工装夹具包括基板和夹持结构；所述夹持结构包括设于所述基板上的两个夹持部件，其中，两个所述夹持部件呈相对间隔设置，且两个所述夹持部件中其中至少一个呈活动设置，使得两个所述夹持部件可相互靠近和远离。本实用新型提供的技术方案使得晶圆工装夹具可夹持固定不同大小的晶圆，从而便于晶圆的转移，各种类型的晶圆均便于进行固定，而且通过所述晶圆工装夹固定晶圆后，晶圆的转移更方便，且不易损伤和污染。
主权项：1.一种晶圆工装夹具，其特征在于，包括：基板；夹持结构，包括设于所述基板上的两个夹持部件，其中，两个所述夹持部件呈相对间隔设置，且两个所述夹持部件中其中至少一个呈活动设置，使得两个所述夹持部件可相互靠近和远离；所述基板上设有定位部，其中至少一个所述夹持部件上设有配合部，所述定位部和所述配合部相配合可调节至少一个所述夹持部件处于所述基板上的位置，以调节两个所述夹持部件之间的距离。
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