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摘要：本发明涉及传感器生产技术领域，尤其是一种光纤光栅镀膜设备，包括底座，所述底座上固接有安装板，所述安装板上可转动的安装有圆形的壳体，所述壳体内部设有两个夹持机构以对光纤的两端进行夹持，所述安装板上设有加热器及磁控溅射耙，所述磁控溅射耙的中心点与光纤的中心点不重合，本装置通过光纤与磁控溅射耙中心点不重合的方式，能够在面积较小磁控溅射耙实现对长光纤的全面扫描，制备出均匀的薄膜，对于同样大的靶，也能够大幅度提高溅射成膜的面积。
主权项：1.一种光纤光栅镀膜设备，包括底座1，所述底座1上固接有安装板5，所述安装板5上可转动的安装有圆形的壳体6，其特征在于，所述壳体6内部设有两个夹持机构以对光纤的两端进行夹持，所述安装板5上设有加热器501及磁控溅射靶502，所述磁控溅射靶502的中心点与光纤的中心点不重合；所述夹持机构包括密封板8，所述密封板8可转动的安装在壳体6上，在密封板8上可转动的安装有多个滑套14，且多个胡滑套14处于同一圆周上，在滑套14内可滑动的配合有第一滑杆17及第二滑杆18，在第一滑杆17上固接有半圆形的第一弹性摩擦轮19，在第二滑杆18上固接有半圆形的第二弹性摩擦轮20；所述壳体6上设有转动结构以驱动滑套14转动，所述转动结构包括端面齿轮7，所述端面齿轮7固接在安装板5上，所述壳体6上可转动的安装有第一环形齿轮13，所述滑套14上固接有行星齿轮15，所述行星齿轮15与第一环形齿轮13相匹配，所述第一环形齿轮13上同轴线固接有第二环形齿轮12，所述第二环形齿轮12与端面齿轮7相匹配。
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百度查询： 深圳市畅格光电有限公司 一种光纤光栅镀膜设备
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