龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明提供一种芯片厂环保回收硫酸制备高纯硫酸铜的方法。针对芯片制程中产生的SPM废液，本发明先进行预处理，然后采用混沌电路对其进行电催化氧化，再送入电解槽，以高纯铜片为阳极进行电解制备硫酸铜。所述电解后的硫酸铜溶液可经过微孔膜过滤、蒸发浓缩、冷却结晶，得到高纯度硫酸铜，达到芯片封装电镀级要求。本发明工艺简单，综合利用芯片厂产生的硫酸与双氧水混合废液，采用电解工艺制备出半导体封装用电镀级高纯硫酸铜，变废为宝，形成硫资源的梯级、高值化利用模式。
主权项：1.一种芯片厂环保回收硫酸制备高纯硫酸铜的方法，其特征在于，包括以下步骤：1回收清洗晶圆后的SPM废液；所述SPM废液是芯片制程中，清洗晶圆后的SPM溶液；所述SPM废液中含有60%～80%硫酸、0.02%双氧水、金属离子大于10ppm；2稀释所述SPM废液，并对稀释后的SPM废液进行离子交换树脂纯化处理，加入超纯水将SPM废液稀释至硫酸含量为15％，纯化树脂为TulsimerA-853E、Diaion-SA10A；3将经过步骤2处理的废液送入电解桶，并对其进行电催化氧化，电催化氧化处理前，加入浓度为32%的电子级双氧水，加入的电子级双氧水与废液体积比为1:20-1:30，电子级双氧水为G3等级，所述电催化氧化，将多价硫氧化为硫酸根，并产生活性氧；4将经过步骤3电解后的废液送至电解槽；所述电解槽的阳极为金属铜板；电解槽内的电解过程中，溶解阳极金属铜制得硫酸铜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆大学 一种芯片厂环保回收硫酸制备高纯硫酸铜的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号