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摘要：本发明涉及坩埚与模具的清洗和干燥技术领域，尤其涉及一种清洗干燥装置，包括清洗箱、喷淋干燥箱、搬运横移组件和清洗架，清洗箱用以对待清洗的坩埚或模具进行清洗；喷淋干燥箱用以对待清洗的坩埚或模具进行喷淋干燥；搬运横移组件用以将待清洗的坩埚或模具搬运至清洗箱和喷淋干燥箱；清洗架用以放置待清洗的坩埚或模具，并由搬运横移组件进行搬运移动。通过搬运横移组件，对三个工位工序完成移动，集成化程度高，将超声波清洗、吹扫、烘干、冷却集于一体，占地空间小，可集成于其余设备上，无需单独空间；清洗烘干过程，全程无需人员参与，自动化程度高；整体结构简单，维护成本低。

主权项：1.一种清洗干燥装置，其特征在于，包括：清洗箱（1），用以对待清洗的坩埚或模具进行清洗；喷淋干燥箱（2），用以所述对待清洗的坩埚或模具进行喷淋和干燥处理；搬运横移组件（3），用以将所述待清洗的坩埚或模具搬运至所述清洗箱（1）和所述喷淋干燥箱（2）；清洗架（4），用以放置所述待清洗的坩埚或模具，并由所述搬运横移组件（3）进行搬运移动；所述清洗架（4）包括定位台（4-1）、延伸板（4-2）、吸合台面（4-3）、纵向支撑件（4-4）、第一夹具（4-5）、拉伸弹簧（4-6）和第二夹具（4-7），所述定位台（4-1）底部设有供导向轴（5-2）插入的定位孔；所述延伸板（4-2）一端固定于所述定位台（4-1），另一端延伸向所述清洗箱（1）或所述喷淋干燥箱（2）；所述吸合台面（4-3）固定于延伸板（4-2）上，用于与清洗架抓手（3-4）进行磁铁吸合；所述纵向支撑件（4-4）固定于所述延伸板（4-2）远离所述定位台（4-1）的一端；所述第一夹具（4-5）与所述纵向支撑件（4-4）铰接；所述拉伸弹簧（4-6）一端固定于所述延伸板（4-2），另一端固定于所述第一夹具（4-5）；所述第二夹具（4-7）位于所述延伸板（4-2）和所述第一夹具（4-5）之间，与所述第一夹具（4-5）形成完整夹具，夹持待清洗的坩埚或模具；所述搬运横移组件（3）位于所述清洗架（4）上方，所述搬运横移组件（3）上对应于所述清洗架（4）随着旋转座（5-4）旋转的路径的位置设置有挡板（3-8），所述清洗箱（1）和所述喷淋干燥箱（2）位于所述搬运横移组件（3）横移方向的侧方位置。

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