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摘要：本发明涉及火抛光装置技术领域，且公开了一种石英舟表面自动火抛机，包括抛光底座和石英火头，所述抛光底座上设置有用于放置石英舟的支撑架，放置时使石英舟两端的端板处于支撑架的外侧，用于连接两个端板的连接杆位于内侧，所述石英火头采用气体燃料进行燃烧，所述支撑架外侧的底部设置有能够识别投影阴影面积的光影检测组件，支撑架外侧上方设有与火焰抛光过程中的火焰波长不同波长的光源，所述光源方向向下，使石英舟的端板待抛光面能够投影到光影检测组件上，所述石英火头用于对石英舟的端板待抛光面进行抛光，石英火头火焰呈集中状，且石英火头中靠近抛光面一侧的气体燃料的流动速度小于远离抛光面的一侧。
主权项：1.一种石英舟表面自动火抛机，包括抛光底座（2）和石英火头（3），所述抛光底座（2）上设置有用于放置石英舟（1）的支撑架（21），放置时使石英舟（1）两端的端板（101）处于支撑架（21）的外侧，用于连接两个端板（101）的连接杆（102）位于内侧，所述石英火头（3）采用气体燃料进行燃烧，其特征在于：所述支撑架（21）外侧的底部设置有能够识别投影阴影面积的光影检测组件（22），支撑架（21）外侧上方设有与火焰抛光过程中的火焰波长不同波长的光源，所述光源方向向下，使石英舟（1）的端板（101）待抛光面能够投影到光影检测组件（22）上；所述石英火头（3）用于对石英舟（1）的端板（101）待抛光面进行抛光，石英火头（3）火焰呈集中状，且石英火头（3）中靠近抛光面一侧的气体燃料的流动速度小于远离抛光面的一侧。
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百度查询： 杭州泓芯微半导体有限公司 一种石英舟表面自动火抛机
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