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摘要：本发明公开了一种CrW合金靶材及其制备方法，具体通过优化粉末粒度和成型工艺制备了W原子比最高达到50％的CrW合金靶材。本发明CrW合金靶材组织均匀，无偏析、无团聚等，致密度99％以上。另外，本发明还通过在靶材底部焊接一层容易机加工的材料，从而解决靶材较脆、较硬不易加工至复杂形状靶材这一难题，使得该靶材得到更广泛的应用。
主权项：1.一种CrW合金靶材的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：S1.将Cr粉以及W粉按既定比例混合均匀，其中，所述既定比例中的W元素原子比例为50%，Cr粉粒度为25μm，所述W粉的粒度为10μm；S2.将混合后的粉末装入包套模具中进行脱气处理；S3.将脱气处理后的包套进行热等静压成型处理；S4.将热等静压成型处理后的坯料去除包套，然后将其切割成相应尺寸大小的靶片，将靶片两端面进行磨加工处理；S5.对磨加工处理后的靶片两端面进行喷砂处理；S6.将喷砂处理后的靶片两端面进行电镀处理；S7.将电镀处理后的靶片与相同大小的合金背板叠放在一起装入包套模具中进行脱气处理；S8.将脱气处理后的包套进行扩散焊接处理；S9.将扩散焊接处理后的靶片去除包套，然后加工至所需形状的靶材，即得带背板的CrW合金靶材，所述CrW合金靶材致密度99%以上，W在Cr基体中分散好、组织均匀、无偏析、无团聚。
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百度查询： 北京安泰六九新材料科技有限公司 一种CrW合金靶材及其制备方法
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