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三维半导体结构和三维半导体结构的制备方法 

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摘要:本申请提供一种三维半导体结构和三维半导体结构的制备方法,涉及半导体制造技术领域,以解决存储器的存储密度较低的问题。该三维半导体结构包括衬底;堆叠结构,所述堆叠结构位于所述衬底上,所述堆叠结构包括沿第一方向堆叠的多个浮体单元阵列,并在所述第一方向上,多个所述浮体单元阵列之间相互连接且电性隔离;位线,所述位线贯穿所述堆叠结构,并与所述浮体单元阵列电性连接;输出线,所述输出线贯穿所述堆叠结构,并与所述浮体单元阵列电性连接;字线,所述字线与所述浮体单元阵列电性连接。本申请能够使浮体单元阵列实现更小的特征尺寸,优化了体单元阵列的排布,从而提高三维半导体结构的存储密度。

主权项:1.一种三维半导体结构,其特征在于,包括:衬底;堆叠结构,所述堆叠结构位于所述衬底上,所述堆叠结构包括沿第一方向堆叠的多个浮体单元阵列,并在所述第一方向上,多个所述浮体单元阵列之间相互连接且电性隔离;位线,所述位线贯穿所述堆叠结构,并与所述浮体单元阵列电性连接;输出线,所述输出线贯穿所述堆叠结构,并与所述浮体单元阵列电性连接;字线,所述字线与所述浮体单元阵列电性连接。

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权利要求:

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