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摘要：本发明提供了一类基于Photo‑Fries重排反应的单分子树脂非化学放大型光刻胶。涉及式（I）所示的化合物，其原料便宜易得、合成过程简单；可作为单组分非化学放大光刻胶，所得到的图案具有高的分辨率和低的线宽粗糙度，可以很好地满足高分辨光刻的要求。
主权项：1.一种如下式II或式III所示的化合物： ；其中，R11、R12、R13、R14、R15均为H；R2相同或不同，各自独立地选自H、C1-6烷基；Ra为H。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 基于Photo-Fries重排反应的单分子树脂非化学放大型光刻胶
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