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摘要：本发明公开了一种基于表面等离子体共振的Pt‑WO3薄膜氢气传感器，涉及氢气传感器技术领域，包括s1、材料预备：首先取一端纤芯直径为105μm，包层直径为125μm的多模光纤，以及管直径为30μm，外径为125μm长度为2mm的石英管，在进行使用前先将其进行清洁，本发明通过光从多模光纤输入到毛细管耦合进石英毛细管的包层，激发石英毛细管的表面的金离子发生共振，入射光波中满足共振条件的那部分光能量转化为等离子体波振荡能量,使反射光减少,最终在反射光谱上出现的共振吸收峰，提高了测量的精确度，当金属薄膜的表面的待测物折射率不同时,由于激发条件不同,共振峰位置发生漂移，可实现对待测物折射率的传感探测。

主权项：1.一种基于表面等离子体共振的Pt-WO3薄膜氢气传感器，其特征在于，包括以下内容：S1、材料预备：首先取一端纤芯直径为105μm，包层直径为125μm的多模光纤（1），以及管直径为30μm，外径为125μm长度为2mm的石英毛细管（2），在进行使用前，先将多模光纤（1）以及石英毛细管（2）进行清洁，在将多模光纤（1）以及石英毛细管（2）表面存在的灰尘油污去除后，此时组合石英毛细管（2）；S2、组合石英毛细管（2）：通过将多模光纤（1）的末端与石英毛细管（2）进行熔接，在熔接后检查气密性问题，直至无问题则继续进行操作，此时进行镀膜操作，在进行镀膜时，采用溅射镀膜的方式进行镀膜，在多模光纤（1）与石英毛细管（2）连接处的表面以及石英毛细管（2）的外表面均镀上一层50nm厚的金膜（3），在镀膜完成后，对其进行退火操作，在退火处理完成后，再在石英毛细管（2）的端面镀一层200nm厚的金膜（3）形成反射面，在镀膜完成后，此时进行退火操作，在退火完成后，此时对毛细管侧面的金膜（3）上进行涂覆操作；S3、涂覆操作：通过在石英毛细管（2）侧面的金膜（3）上涂覆一层15μm厚的PDMS涂层（4）后，在PDMS涂层（4）的表面制作纳米孔洞，通过对PDMS涂层（4）的表面采用电子束蚀刻的方式进行制作纳米孔洞，在纳米孔洞制作完毕后，进行溅射操作；S4、溅射操作：完成PDMS涂层（4）表面的纳米孔洞制作后，使用磁控溅射镀膜机对PDMS涂层（4）的表面纳米孔洞进行交替溅射Pt和WO3，随着交替进行后，控制Pt和WO3层（5）总和为60nm厚，至此完成传感器制作；其中，所述S2中进行退火操作，为了提高金膜（3）的附着效果以及均匀程度，采用150℃至200℃进行退火操作；其中，所述S3中对PDMS涂层（4）的表面制作纳米孔洞时，为了确保后期传感器的工作效率可控，采用固定顺序排列方式进行纳米孔洞制作；其中，所述S4在进行交替式对PDMS涂层（4）的表面进行镀Pt和WO3层（5）完成后，进行热处理，以此来提高PDMS涂层（4）的表面对Pt和WO3层（5）的附着能力；其中，所述S4中Pt与WO3之间的摩尔比例控制在1:12。

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百度查询： 中国计量大学 一种基于表面等离子体共振的Pt-WO3薄膜氢气传感器