龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开一种金刚石基晶体管器件、其制作方法及电子器件，表面氢截止层中设置有第一凹槽、第二凹槽和第一连接壁，第一凹槽和第二凹槽均具有侧壁和连接所有侧壁的第二连接臂，所有侧壁相对于金刚石衬底表面的倾斜角均大于0度，第一连接壁和第二连接壁均与金刚石衬底表面平行；源极金属接触和漏极金属接触分别位于第一凹槽和第二凹槽的第二连接壁的表面，且穿过表面钝化层与表面氢截止层电性连接，栅极金属位于第一连接壁表面，因此，所有侧壁均为光滑的壁面，且所有侧壁均为金刚石{111}晶面族，与金刚石衬底之间的倾斜角均大于0度，因此可以增大器件导电通道的迁移率，从而提高金刚石基晶体管器件的性能。
主权项：1.一种金刚石基晶体管器件，其特征在于，包括：金属层6、金刚石衬底1、以及依次层叠设置于所述金刚石衬底1上的金刚石外延层2、表面氢截止层4、表面钝化层5；所述金刚石外延层2表面设置有第一凹槽7、第二凹槽8和连接所述第一凹槽7与所述第二凹槽8的第一连接壁9，所述第一凹槽7和所述第二凹槽8均具有侧壁和连接所有侧壁的第二连接壁12，所述所有侧壁相对于所述金刚石衬底1表面的倾斜角均大于0度，所述第一连接壁9和第二连接壁12均与所述金刚石衬底1表面平行；所述金属层6包括源极金属接触61、漏极金属接触62和栅极金属63，所述源极金属接触61位于所述第一凹槽7的第二连接壁12的表面，且穿过所述表面钝化层5与所述表面氢截止层4电性连接，所述漏极金属接触62位于所述第二凹槽8的第二连接壁12的表面，且穿过所述表面钝化层5与所述表面氢截止层4电性连接，所述栅极金属63位于所述第一连接壁9的表面；其中，所述金刚石基晶体管器件还包括至少一层重硼掺杂埋层14；所述重硼掺杂埋层14位于所述金刚石外延层2和表面氢截止层4之间，且所述重硼掺杂埋层14在所述金刚石衬底1上的正投影与所述第一凹槽7的第二连接壁12在所述金刚石衬底1上的正投影、所述第二凹槽8的第二连接壁12在所述金刚石衬底1上的正投影、所述第一连接壁9在所述金刚石衬底1上的正投影重叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳平湖实验室 一种金刚石基晶体管器件、其制作方法及电子器件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号