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摘要：本发明提供一种真空吸附转接垫片，其结构包括：主体、真空吸盘、转接垫片、晶圆，主体与真空吸盘为一体化结构，转接垫片安装于真空吸盘上端；本发明由转接垫片进一步改进后可通过使用转接垫片时，可直接更换转接垫片后即可进行使用更换后的垫片与真空吸盘进行相互配合，从而通过达到更换垫片即可使一个真空吸盘完成对各种尺寸晶圆的吸附，同时外层所装有的辅助软体效果能够有效的减缓晶圆的滑动性能，并且根据吸头与真空吸盘的相互配合下能够同一时间进行运行，使在抽气过程中保持平衡效果，进而达到均匀吸气的效果，从而能够有效的解决了光滑晶圆在转接垫片上产生的容易打滑现象，并且能够均匀的将晶圆进行吸气，防止抽气不平衡导致的晶圆受损。

主权项：1.一种真空吸附转接垫片，其结构包括：主体（1）、真空吸盘（2）、转接垫片（3）、晶圆（4），其特征在于：所述主体（1）与真空吸盘（2）为一体化结构，所述转接垫片（3）安装于真空吸盘（2）上端，所述晶圆（4）设置于转接垫片（3）上方并与真空吸盘（2）进行吸附活动；所述转接垫片（3）设有外层（31）、吸附间隙（32）、内圈（33），所述外层（31）内侧与吸附间隙（32）为一体并进行间隙配合，所述内圈（33）设置于吸附间隙（32）内侧；所述外层（31）设有中心块（311）、腔体（312）、辅助软体（313）、吸头（314），所述中心块（311）设置于腔体（312）的中心位置并为一体，所述辅助软体（313）安装于腔体（312）外侧，所述吸头（314）嵌入于辅助软体（313）当中；所述吸头（314）设有连接槽（a1）、第一实心块（a2）、支架（a3）、抽气端（a4）、通腔（a5），所述连接槽（a1）嵌入于第一实心块（a2）下端，所述第一实心块（a2）上端与支架（a3）进行固定连接，所述抽气端（a4）与支架（a3）进行定位连接，所述通腔（a5）设置于抽气端（a4）下端并相通；所述连接槽（a1）设有定位体（a11）、转动轮（a12）、活动板（a13）、磁吸块（a14）、插入空间（a15），所述定位体（a11）中心设有转动轮（a12）并进行间隙配合，所述活动板（a13）固定于转动轮（a12）两侧，所述磁吸块（a14）固定于活动板（a13）内侧，所述插入空间（a15）与磁吸块（a14）相通；所述转动轮（a12）设有主轴（b1）、平衡杆（b2）、锁定体（b3）、衔接槽（b4）、底盘（b5），所述主轴（b1）外侧与平衡杆（b2）进行活动连接，所述锁定体（b3）固定于平衡杆（b2）左右两侧，所述衔接槽（b4）与锁定体（b3）相通，所述底盘（b5）与主轴（b1）为同一圆心并与衔接槽（b4）进行间隙配合；所述辅助软体（313）设有表壳（c1）、连接格（c2）、卡块（c3）、压轴（c4）、橡胶体（c5），所述表壳（c1）侧端与连接格（c2）为一体，所述卡块（c3）嵌入于连接格（c2）的中心，所述压轴（c4）与卡块（c3）中心进行卡合连接，所述橡胶体（c5）与压轴（c4）进行压紧活动；所述卡块（c3）设有凸块（c31）、内腔（c32）、第二实心块（c33）、限位体（c34）、卡合环（c35），所述凸块（c31）设置于内腔（c32）上下端；所述第二实心块（c33）固定于内腔（c32）的四个端点，所述限位体（c34）与第二实心块（c33）表层相连接，所述卡合环（c35）嵌入于限位体（c34）当中并进行间隙配合。

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