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摘要：本发明提出一种微机械结构元件，特别是惯性传感器，包括：振动质量30、衬底20和罩40，其中该结构元件与衬底20连接地具有在第一电极层22中的参考电极70且与罩40连接地具有在第二电极层44中的另一参考电极80，其中振动质量30沿垂直于参考电极70的主延伸平面的方向60在两侧是可偏移的，且其中振动质量30沿朝第一电极层22的偏移方向具有柔性的止挡31，其中振动质量30的柔性的止挡31借助于弹簧元件32与振动质量30的主体连接，其中弹簧元件32实现在弹性层33中，该弹性层设置在一方面振动质量30的主体的一层35与另一方面第一电极层22之间，其中振动质量30沿朝第二电极层44的偏移方向具有另一柔性的止挡39，其中振动质量30的另一柔性的止挡39借助于设置在振动质量30的主体的层35中的止挡元件38与弹簧元件32连接。
主权项：1.一种微机械结构元件，具有：振动质量30、衬底20和罩40，其中，所述结构元件与所述衬底20连接地具有在第一电极层22中的参考电极70并且与所述罩40连接地具有在第二电极层44中的另一参考电极80，其中，所述振动质量30沿垂直于所述参考电极70的主延伸平面的方向60能够在两侧偏移，并且其中，所述振动质量30沿朝向所述第一电极层22的偏移方向具有柔性止挡31，其中，所述振动质量30的柔性止挡31借助弹簧元件32与所述振动质量30的主体连接，其中，所述弹簧元件32在弹性层33中实现，该弹性层布置在一方面所述振动质量30的主体的层35与另一方面所述第一电极层22之间，其特征在于，所述振动质量30沿朝向所述第二电极层44的偏移方向具有另一柔性止挡39，其中，所述振动质量30的另一柔性止挡39借助布置在所述振动质量30的主体的层35中的止挡元件38与所述弹簧元件32连接。
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百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机械结构元件、尤其是具有振动质量、衬底和罩的惯性传感器
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