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摘要：一种加热器的温度调节方法，所述加热器包括：由半导体基片构成的1片板状部件；和在所述一片板状部件的侧面，在圆周方向上隔开间隔形成的三个以上的电极，该温度调节方法包括：在所述电极与其他的所述电极之间通电，并依次切换要通电的所述电极的组，来对所述板状部件进行加热的工序，其中，所述加热的工序中的电极间的通电时间，是按每个所述电极的组而设定的。
主权项：1.一种加热器的温度调节方法，其特征在于：所述加热器包括：被通电而加热的由半导体基片构成的一片板状部件；和在所述一片板状部件的侧面，在圆周方向上隔开间隔形成的三个以上的电极，对于通过在径向方向上划分所述板状部件而从中央去往外周依次形成的每个加热区域，将具有与该加热区域对应的位置关系的所述电极的组，设定为用于对该加热区域加热的所述电极的组，所述温度调节方法包括：在构成所述电极的组的所述电极之间通电，并依次切换要通电的所述电极的组，来对所述板状部件的所述加热区域依次进行加热的工序，其中，所述加热的工序中的电极间的通电时间，是按所述电极的组而设定的。
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百度查询： 东京毅力科创株式会社 加热器的温度控制方法、加热器和载置台
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