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摘要：本发明提供了一种MEMS加速度传感器的补偿方法，涉及基于MEMS加速度传感器的测量技术领域，目的是提高MEMS加速度传感器的性能和测量精度，包括以下步骤：获取加速度原始码字；对加速度原始码字进行小波软阈值滤波处理，得到加速度第一缓存码字；对加速度第一缓存码字进行三阶温度补偿，得到加速度第二缓存码字；对加速度第二缓存码字进行温控非线性补偿，得到加速度补偿码字。本发明具有测量精度更高的优点。

主权项：1.一种MEMS加速度传感器的补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：获取加速度原始码字；对所述加速度原始码字进行小波软阈值滤波处理，得到加速度第一缓存码字；对所述加速度第一缓存码字进行三阶温度补偿，得到加速度第二缓存码字；对加速度第二缓存码字进行温控非线性补偿，得到加速度补偿码字；对所述加速度第一缓存码字进行三阶温度补偿的方法为： ； ； ；其中，代表加速度第一缓存码字，代表加速度第二缓存码字，为温度偏置，为温度乘性系数，为温度偏置截距，为温度偏置一阶参数，为温度偏置二阶参数，为温度偏置三阶参数，为温度乘性系数截距，为温度乘性系数一阶参数，为温度乘性系数二阶参数，为温度乘性系数三阶参数，为温度；所述温度偏置截距、所述温度偏置一阶参数、所述温度偏置二阶参数和所述温度偏置三阶参数的率定方法包括以下步骤：使MEMS加速度传感器处于静止状态，在不同温度下采集得到多组第一数据，每组第一数据包括加速度码字和温度值；以所述第一数据的所述温度值为自变量且以所述加速度码字为因变量，对所述多组第一数据进行三阶拟合，将得到的截距作为所述温度偏置截距，将得到的斜率作为所述温度偏置一阶参数，将得到的二次项系数作为所述温度偏置二阶参数，将得到的三次项系数作为所述温度偏置三阶参数；所述温度乘性系数截距、所述温度乘性系数一阶参数、所述温度乘性系数二阶参数和所述温度乘性系数三阶参数的率定方法包括以下步骤：使MEMS加速度传感器处于运动状态，在不同温度下采集得到多组第二数据，每组第二数据包括加速度码字、温度值和加速度原值；计算加速度乘性偏差： 其中，为加速度乘性偏差，为加速度码字，为加速度原值，为加速度码字相对于加速度原值的理想倍率；以所述第二数据的所述温度值为自变量并以所述加速度乘性偏差为因变量，对所述多组第二数据进行三阶拟合，将得到的截距作为所述温度乘性系数截距，将得到的斜率作为所述温度乘性系数一阶参数，将得到的二次项系数作为所述温度乘性系数二阶参数，将得到的三次项系数作为所述温度乘性系数三阶参数；所述对加速度第二缓存码字进行温控非线性补偿的方法为： ； ； ； ； ； ；其中，为加速度补偿码字，为推算的加速度原值，为温度修正非线性补偿第0参数，为温度修正非线性补偿第1参数，为温度修正非线性补偿第2参数，为温度修正非线性补偿第3参数，为非线性补偿第0参数，为非线性补偿第1参数，为非线性补偿第2参数，为非线性补偿第3参数，为非线性补偿第0参数温度修正因子，为非线性补偿第1参数温度修正因子，为非线性补偿第2参数温度修正因子，为非线性补偿第3参数温度修正因子，代表加速度第二缓存码字，为温度，为加速度原值；所述非线性补偿第0参数、所述非线性补偿第1参数、所述非线性补偿第2参数和所述非线性补偿第3参数的率定方法包括以下步骤：在温度不变的条件下，获取MEMS加速度传感器以不同加速度运动时的多组第三数据，每组第三数据包括加速度码字和加速度原值；以所述第三数据的所述加速度原值为自变量并以所述加速度码字为因变量，对所述多组第三数据进行一阶拟合，将得到的截距作为所述非线性补偿第0参数，将得到的斜率作为所述非线性补偿第1参数；以所述加速度原值为自变量并以加速度码字为因变量，对所述多组第三数据进行三阶拟合，将得到的二次项系数作为所述非线性补偿第2参数，将得到的三次项系数作为所述非线性补偿第3参数。

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