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镀膜装置 

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摘要:本公开提供一种镀膜装置,包括:镀膜腔体,镀膜腔体内具有预设的真空度,镀膜腔体内设置有待镀膜的基材;蒸发机构,用于向基材表面蒸发金属蒸气进行镀膜;送丝机构,用于向蒸发机构输送待蒸发金属丝,包括:送丝管,送丝管具有进丝口、出丝口以及进气口,进气口配置为以预设流量输入惰性气体,出丝口配置为供待蒸发金属丝和惰性气体同时输出;其中,预设流量包括第一预设流量和第二预设流量,响应于惰性气体以第一预设流量输入进气口,待蒸发金属丝在出丝口的振动幅度大于预设范围;响应于惰性气体以第二预设流量输入进气口,待蒸发金属丝在出丝口的振动幅度小于预设范围。

主权项:1.一种镀膜装置,其特征在于,包括:镀膜腔体,所述镀膜腔体内具有预设的真空度,所述镀膜腔体内设置有待镀膜的基材;蒸发机构,用于向所述基材表面蒸发金属蒸气进行镀膜;送丝机构,用于向所述蒸发机构输送待蒸发金属丝,包括:送丝管,所述送丝管具有进丝口、出丝口以及进气口,所述进气口配置为以预设流量输入惰性气体,所述出丝口配置为供所述待蒸发金属丝和所述惰性气体同时输出;其中,所述预设流量包括第一预设流量和第二预设流量,响应于所述惰性气体以所述第一预设流量输入所述进气口,所述待蒸发金属丝在所述出丝口的振动幅度大于预设值;响应于所述惰性气体以所述第二预设流量输入所述进气口,所述待蒸发金属丝在所述出丝口的振动幅度小于所述预设值。

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