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摘要：本发明提供一种扩散硅芯体测试装置，扩散硅芯体测试装置的结构包括装置主体，其形成有第一轴孔、第二轴孔和第三轴孔，并在顶部形成有多个用于安装扩散硅芯体的安装孔，安装孔与第一轴孔相连通；中心轴，安装于第一轴孔，并形成有椭圆柱面；主动轴，安装于第二轴孔；从动轴，安装于第三轴孔；传动机构，安装于主动轴和从动轴，主动轴通过传动机构驱动从动轴转动；槽轮机构，安装于主动轴和中心轴，主动轴通过槽轮机构驱动中心轴间歇地转动；盖板，安装于装置主体的顶部，盖板上形成与安装孔的位置对应的流通孔；以及驱动机构，与主动轴和从动轴相连接。该扩散硅芯体测试装置能够解决如何机械化且能够批量上下料地对扩散硅芯体进行测试的问题。

主权项：1.一种扩散硅芯体测试装置，其特征在于，所述扩散硅芯体测试装置包括：装置主体，沿第一方向形成有相互平行的第一轴孔、第二轴孔和第三轴孔，在所述装置主体的顶部形成有多个用于安装扩散硅芯体的安装孔，多个所述安装孔均与所述第一轴孔相连通；中心轴，安装于所述第一轴孔，所述中心轴形成有椭圆柱面；主动轴，安装于所述第二轴孔；从动轴，安装于所述第三轴孔；传动机构，安装于所述主动轴和所述从动轴，所述主动轴通过所述传动机构驱动所述从动轴转动；槽轮机构，安装于所述主动轴和所述中心轴，所述主动轴通过所述槽轮机构驱动所述中心轴间歇地转动；盖板，安装于所述装置主体的顶部，用于压盖所述扩散硅芯体，所述盖板上形成有多个流通孔，多个所述流通孔与多个所述安装孔的位置一一对应；以及驱动机构，与所述主动轴和所述从动轴相连接，所述驱动机构能够沿预定路径往复运动，用于驱动所述盖板下压；所述驱动机构包括：导向板，安装在所述装置主体的端部，所述导向板上形成有导向槽；曲柄轴，偏心地安装于所述主动轴和所述从动轴；导向杆，其端部活动连接于所述导向槽，所述导向杆沿所述导向槽的轨迹运动，用于抵压所述盖板；以及连杆，连接所述导向杆与所述曲柄轴；所述导向槽包括弧形槽部和竖直槽部，所述弧形槽部的第二端与所述竖直槽部的第一端相连，在所述导向杆运动至所述竖直槽部的第二端的情况下，所述导向杆抵压所述盖板；所述槽轮机构包括：拨盘，安装于所述中心轴，所述拨盘形成有相互垂直的第一凹槽和第二凹槽；以及拨杆，所述拨杆的第一端与所述主动轴相连接，所述拨杆的第二端用于伸入所述第一凹槽和所述第二凹槽；在所述主动轴逆时针旋转一周的情况下，所述拨杆驱动所述拨盘顺时针旋转90°，所述中心轴的椭圆柱面的短半径面枢转至竖直向上；在所述主动轴顺时针旋转一周的情况下，所述拨杆驱动所述拨盘逆时针旋转90°，所述中心轴的椭圆柱面的长半径面枢转至竖直向上，所述扩散硅芯体被向上顶起。

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