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摘要：本发明涉及压力传感器技术领域，公开了电容式压力传感器及压力检测设备，其中该电容式压力传感器，主要包括：固定电极层、绝缘层和可变电极层。绝缘层设于固定电极层的上端，绝缘层的上表面开设有凹槽；可变电极层密封凹槽的槽口并形成密封腔，固定电极层与可变电极层形成可变电容；根据单位面积灵敏度确定可变电极层与密封腔对气压的响应，根据可变电极层与密封腔对气压的响应确定可变电极层的变形程度，根据可变电极层的变形程度确定电容读数变化，根据电容读数变化确定气压值。本发明提供的电容式压力传感器，电容式压力传感器的性能由密封腔等效弹簧系数主导，能够同时提升电容式压力传感器的灵敏度和线性测量范围。
主权项：1.一种电容式压力传感器，其特征在于，包括：固定电极层（1）；绝缘层（2），设于所述固定电极层（1）的上端，所述绝缘层（2）的上表面开设有凹槽；可变电极层（3），密封所述凹槽的槽口并形成密封腔（4），所述固定电极层（1）与所述可变电极层（3）形成可变电容；根据电容式压力传感器的单位面积灵敏度确定所述可变电极层（3）与所述密封腔（4）对气压的响应，根据所述可变电极层（3）与所述密封腔（4）对气压的响应确定所述可变电极层（3）的变形程度，根据所述可变电极层（3）的变形程度确定所述电容式压力传感器的电容读数变化，根据所述电容读数变化确定所述电容式压力传感器的气压值；所述电容式压力传感器的单位面积灵敏度S的计算公式如下： 其中，C为电容，Po为外界气压，ωc为所述可变电极层（3）的中心点位移，A为所述可变电极层（3）的面积，MC为电容C随所述可变电极层（3）的中心点位移ωc变化的单位面积灵敏度，Km为可变电极层等效弹簧系数，KP为密封腔等效弹簧系数；所述密封腔等效弹簧系数KP与所述可变电极层等效弹簧系数的Km的比值大于等于预设值。
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