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摘要：本发明公开了一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，包括托板、气动吸盘组件和限位机构，在气动吸盘组件的支撑盘主体顶端中部设置了一个活动支盘，活动支盘的底部通过支盘升降控制组件进行升降控制，且在限位机构的环形齿盘上设置了多组限位装置，通过活动限位组件的缓冲板对晶圆的放置位置进行限制，缓冲板呈倾斜设置，多个限位装置的缓冲板之间的限位直径由上至下渐缩，通过活动支盘对晶圆进行支撑，活动支盘下移，同时控制活动支盘转动，通过缓冲板限位，且缓冲板采用震动的方式对晶圆的位置进行调节，对晶圆的固定位置进行纠正和定位，通过采用吸盘的方式对晶圆进行固定，且对晶圆的固定位置进行定位，避免采用夹持方式对晶圆造成损坏。

主权项：1.一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：包括托板1、气动吸盘组件2和限位机构3，所述气动吸盘组件2安装于托板1中部，所述气动吸盘组件2的顶部边沿处设置有限位机构3，且限位机构3的底端与托板1相连接；所述气动吸盘2用于对晶圆进行固定和转动控制，所述气动吸盘2包括支撑盘21、轴承一22、齿圈23、齿轮一24、电机一25、活动支盘26、竖杆27和支盘升降控制组件28，所述支撑盘21的外壁底部通过轴承一22与托板1转动连接，所述支撑盘21的外壁中部套装有齿圈23，所述齿圈23的外壁与齿轮一24相互啮合，所述电机一25的输出轴与齿轮一24的圆心处传动连接，且电机一25固定于托板1的底端，所述支撑盘21的顶端中部设置有活动支盘26，所述活动支盘26的底端左右两侧均固定有竖杆27，所述竖杆27的底端贯穿支撑盘21与支盘升降控制组件28相连接；所述限位机构3包括环形齿盘31、内支撑轴承32、外支撑轴承33、驱动卡齿34、蜗轮35、蜗杆组件36和限位装置37，所述环形齿盘31的内壁和外壁底部分别通过内支撑轴承32和外支撑轴承33与托板1转动连接，所述环形齿盘31的顶端面设置有驱动卡齿34，所述环形齿盘31的外壁顶部套装有蜗轮35，所述蜗杆组件36设置于蜗轮35边沿处，且蜗杆组件36与蜗轮35传动连接，所述限位装置37设置有三组以上，且以环形齿盘31圆心处均匀设置，所述限位装置37套装于环形齿盘31外侧，且限位装置37与环形齿盘31顶部的驱动卡齿34相互啮合；所述支板升降控制组件28用于对活动支盘26的升降进行控制，所述活动支盘26用于对晶圆进行支撑，所述蜗杆组件36用于对蜗轮35和环形齿盘31的转动进行控制，所述环形齿盘31转动用于控制限位装置37的活动限位组件375伸缩，所述活动限位组件375用于对晶圆的对晶圆的位置进行限制，三组以上的活动限位组件375对晶圆进行圆心定位。

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