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摘要：本发明提供一种不论掩模的材质如何都能够提高基板与掩模的紧贴性的成膜装置及成膜方法。成膜装置具备：掩模，其具有形成有用于在基板上对图案进行成膜的开口部的图案部和比图案部厚的框架部；按压构件，其对框架部进行按压；以及施力单元，其对按压构件进行施力。
主权项：1.一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：掩模，其具有形成有用于在基板上对图案进行成膜的开口部的图案部和比所述图案部厚的框架部；按压构件，其对所述框架部进行按压；以及施力部件，其对所述按压构件进行施力。
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