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摘要：本发明涉及一种基于同步辐射衍射的晶圆缺陷三维表征装置和方法，其中，装置包括：晶圆载盘，用于放置待测晶圆；同步辐射光源，用于产生同步辐射光；双晶单色器，用于对所述同步辐射光进行单色化处理，并使得处理后的光束穿过狭缝照射到所述待测晶圆；X射线二维成像探测器，置于所述待测晶圆的出射衍射光的光路上，用于对所述出射衍射光进行扫描，得到待测晶圆的衍射图像；数据处理模块，用于对所述X射线二维成像探测器采集的多张待测晶圆的衍射图像进行叠加，形成三维图像得到不同深度的晶圆表面缺陷分布信息。本发明能有效区分缺陷所在深度及三维分布。
主权项：1.一种基于同步辐射衍射的晶圆缺陷三维表征装置，其特征在于，包括：晶圆载盘，用于放置待测晶圆；同步辐射光源，用于产生同步辐射光；双晶单色器，用于对所述同步辐射光进行单色化处理，并使得处理后的光束穿过狭缝照射到所述待测晶圆；X射线二维成像探测器，置于所述待测晶圆的出射衍射光的光路上，用于对所述出射衍射光进行探测，得到待测晶圆的衍射图像；数据处理模块，用于对所述X射线二维成像探测器采集的多张待测晶圆的衍射图像进行叠加，形成三维图像得到不同深度的晶圆表面缺陷分布信息。
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百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种基于同步辐射衍射的晶圆缺陷三维表征装置和方法
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