龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开了一种OPC不同配置模型的质量评价方法，包括：步骤一、提供不同的OPC工具软件。步骤二、在版图中截取待评价结构区域。步骤三、依次采用各OPC工具软件对待评价结构区域中的各待评价结构图形进行仿真并得到对应的仿真图形。步骤四、将各仿真图形叠加在一起。步骤五、进行网格划分，设置各格点的权重以及设置各仿真图形对应的格点信息；对各仿真图形对应的格点信息进行矩阵向量化处理并得到矩阵向量。步骤六、建立相似度评价函数，将需要比较的两个OPC工具软件对应的仿真图形的各矩阵向量代入相似度评价函数中得到相似度评价值，基于相似度评价值判断待评价结构区域对应的OPC工具软件的模型的准确性。
主权项：1.一种OPC不同配置模型的质量评价方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、提供不同的OPC工具软件，各所述OPC工具软件的OPC模型不同；步骤二、在版图中截取待评价结构区域，所述待评价结构区域中具有一个以上的待评价结构图形；步骤三、依次采用各所述OPC工具软件对所述待评价结构区域中的各所述待评价结构图形进行仿真并得到对应的仿真图形；步骤四、将各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形叠加在一起；步骤五、对各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形进行网格划分，设置各格点的权重以及设置各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形对应的格点信息；对各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形对应的格点信息进行矩阵向量化处理并得到各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形对应的各矩阵向量；步骤六、建立相似度评价函数，将需要比较的两个所述OPC工具软件对应的所述仿真图形的各矩阵向量代入所述相似度评价函数中得到相似度评价值，基于所述相似度评价值判断所述待评价结构区域对应的所述OPC工具软件的模型的准确性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 上海华虹宏力半导体制造有限公司 OPC不同配置模型的质量评价方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号