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摘要：本公开涉及一种用于为衬底的表面提供层的化学气相沉积设备，该设备包括：反应器，该反应器具有用于容纳至少一个衬底的室；压力单元，该压力单元被配置成在该室的内部部分中产生第一预先确定压力。该压力单元包括具有至少一个液环真空泵的第一泵送级，以及具有至少一个干式螺杆真空泵的第二泵送级。
主权项：1.一种用于为衬底的表面提供层的化学气相沉积设备，所述设备包括：反应器1，其具有用于容纳至少一个衬底的室10；压力单元6，其被配置成在所述室10的内部部分中产生第一预先确定压力，其特征在于，所述压力单元包括：第一泵送级60，其具有至少一个液环真空泵601，以及第二泵送级61，其具有至少一个干式螺杆真空泵611。
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百度查询： IHI伯尔纳股份公司 化学气相沉积设备
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