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摘要：本发明提供一种气体吸附纯化的装置及其纯化方法，包括通过管线依次连接原料单元、缓冲减压单元和吸附单元；原料单元包括低压储罐、高压钢瓶和隔膜压缩机，高压钢瓶和隔膜压缩机并联设置，且并联一端与低压储罐连通，另一端与缓冲减压单元内部的管道式缓冲器连通，管道式缓冲器通过双表式减压阀与吸附单元内部的多个吸附装置连通；还设有高纯氮气、真空总管和尾气总管，高纯氮气、真空总管和尾气总管分别与原料单元、缓冲减压单元和吸附单元连通。可有效控制高纯气体中的杂质含量，同时配备有高纯氮气吹扫管路、真空管路及尾气管路，可以灵活处理不同物性的原料。
主权项：1.一种气体吸附纯化的装置，其特征是：包括通过管线依次连接原料单元（A）、缓冲减压单元（B）和吸附单元（C）；原料单元（A）包括低压储罐（1）、高压钢瓶（2）和隔膜压缩机（3），高压钢瓶（2）和隔膜压缩机（3）并联设置，且并联一端与低压储罐（1）连通，另一端与缓冲减压单元（B）内部的管道式缓冲器（4）连通，管道式缓冲器（4）通过双表式减压阀（5）与吸附单元（C）内部的多个吸附装置连通；还设有高纯氮气（N1）、真空总管（N2）和尾气总管（N3），高纯氮气（N1）、真空总管（N2）和尾气总管（N3）分别与原料单元（A）、缓冲减压单元（B）和吸附单元（C）连通。
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百度查询： 湖北兴福电子材料股份有限公司 气体吸附纯化的装置及其纯化方法
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