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微机械传感器系统和用于运行微机械传感器系统的方法 

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摘要:本发明涉及一种微机械传感器系统100,具有微机械结构110并且具有操控和检测装置120,为了以预给定的输出数据速率在输出端130处重复地生成和输出传感器测量值,在与微机械传感器系统100的输出数据速率相应的输出时间区间200的第一部分210期间操控和检测装置120实现节能运行模式。为了生成传感器测量值在输出时间区间200期间由控制和检测装置120操控微机械结构110和或检测其位置或配置。在准备或空置时间区间221期间准备传感器测量值的生成。即使在微机械传感器系统100制造之后也能改变或适配准备或空置时间区间221和或输出时间区间200的第一部分210的持续时间。本发明还涉及一种用于运行微机械传感器系统100的方法。

主权项:1.微机械传感器系统100,其具有微机械结构110并且具有操控和检测装置120,其中,所述微机械传感器系统100为了--以预给定的输出数据速率,即outputdatarateODR以及--在所述微机械传感器系统100的输出端130处重复地生成和输出传感器测量值而配置为,在与所述微机械传感器系统100的输出数据速率相应的输出时间区间200的第一部分210期间所述操控和检测装置120实现节能运行模式,并且,为了生成所述传感器测量值在所述输出时间区间200期间由所述操控和检测装置120操控所述微机械结构110和或检测所述微机械结构的位置或配置,其特征在于,在时间上在输出时间区间200的第一部分210之后并且作为所述测量时间区间220的一部分,在准备或空置时间区间221期间,准备所述传感器测量值的生成,其中,即使在所述微机械传感器系统100制造之后也能改变或适配所述准备或空置时间区间221的持续时间和或所述输出时间区间200的第一部分210的持续时间。

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