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摘要：本发明公开一种悬臂式探针卡装置及吸光式探针。所述吸光式探针包含一力臂段、相连于所述力臂段两端的一主体段与一针测段及一吸光涂层。所述主体段位于所述力臂段的一侧，并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于相反侧的一焊接端部与一延伸端部。所述针测段沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧。所述针测段包含一针尖部及连接所述针尖部与所述力臂段的一直立部。所述吸光涂层包覆所述直立部于其内，并突出于所述针尖部的外表面。所述针测段能于一检测设备的观测作业之中，仅以所述针尖部形成有一观测点位。据此，通过在邻近所述针尖部的所述直立部形成有所述吸光涂层，以使得所述检测设备能够较为准确地得知所述针尖部。
主权项：1.一种悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述悬臂式探针卡装置包括：一基板，包含有多个焊垫；以及多个吸光式探针，固定于所述基板；其中，每个所述吸光式探针包含有：一力臂段；一主体段，位于所述力臂段的一侧，并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于相反侧的一焊接端部与一延伸端部；一针测段，沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧；其中，所述针测段包含有一针尖部及连接所述针尖部与所述力臂段的一直立部；及一吸光涂层，包覆所述直立部于其内，并且所述吸光涂层突出于所述针尖部的外表面；其中，于每个所述吸光式探针之中，所述针测段能于一检测设备的观测作业之中，仅以所述针尖部形成有一观测点位；其中，多个所述吸光式探针以其所述主体段的所述焊接端部分别固定于所述基板的多个所述焊垫。
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百度查询： 台湾中华精测科技股份有限公司 悬臂式探针卡装置及吸光式探针
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