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摘要：本公开提供了一种用于提高溅射系统内的靶利用率的方法。提供了多个靶，其中，每个靶操作地连接到中心轴。在溅射系统内生成离子束。在第一时间段内生成的离子束被引导到第一靶的第一位置处。通过旋转中心轴移动每个靶。在第二时间段内生成的离子束被引导到第一靶的第二位置处。
主权项：1.一种用于在溅射系统内提高靶利用率的方法，包括以下步骤：提供多个靶，每个靶操作地连接到中心轴；在所述溅射系统内生成第一离子束；将生成的所述第一离子束引导到第一靶的第一位置处；中断所述第一离子束的生成；通过旋转所述中心轴移动每个靶；在所述溅射系统内生成第二离子束；以及将生成的所述第二离子束引导到所述第一靶的第二位置处。
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百度查询： 等离子瑟姆NES有限公司 离子束沉积靶寿命增强
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