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摘要：本公开涉及具有力反馈环路的微机电加速度计。微机电加速度计包括：微结构，其具有感测端子和与感测端子不同的驱动端子、支撑体和可移动质量块，可移动质量块耦合至支撑体从而能够相对于静止位置根据感测轴振荡，以及控制单元，其耦合至微结构从而形成被配置为将可移动质量块维持在静止位置的力反馈环路。可移动质量块包括：通过电容耦合分别耦合至感测端子和驱动端子的感测结构和驱动结构，电容耦合作为可移动质量块距静止位置的位移的函数而变化。感测结构和驱动结构彼此电绝缘并且彼此刚性耦合。
主权项：1.一种微机电加速度计，包括：微结构，具有感测端子和驱动端子，并且包括支撑体和可移动质量块，所述驱动端子与所述感测端子不同，所述可移动质量块耦合至所述支撑体；以及控制单元，耦合至所述微结构，所述控制单元被配置为形成力反馈环路，所述力反馈环路被配置为将所述可移动质量块维持在静止位置；其中所述可移动质量块包括：感测结构，所述感测结构通过感测电容耦合件耦合至所述感测端子，所述感测电容耦合件根据所述可移动质量块距所述静止位置的位移而变化；以及驱动结构，所述驱动结构通过驱动电容耦合件耦合至所述驱动端子，所述驱动电容耦合件根据所述可移动质量块距所述静止位置的位移而变化；其中所述感测结构和所述驱动结构彼此电绝缘，并且所述感测结构和所述驱动结构彼此刚性耦合。
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百度查询： 意法半导体国际公司 具有力反馈环路的微机电加速度计
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