龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明提供了一种半导体薄膜沉积用前驱体升华装置及方法，属于物质分离装置领域。本发明提供的半导体薄膜沉积用前驱体升华装置，包括：流化部，其至少具有一个用于容纳待升华物料的流化桶，用于使待升华物料处于流化状态，流化桶具有一个入口和一个出口；进气部，设置在流化部的入口处，用于向流化桶通入气体，轻组分沉积部，其与流化部连通；收集部，包括用于收集目标物料的收集桶，收集桶通过带有至少一个阀门的连接管与流化部连通，收集桶内部设置有一个用于与外部真空源相连通的真空管。本发明提供的升华装置可以提升升华效率。
主权项：1.一种半导体薄膜沉积用前驱体升华装置，其特征在于，包括：流化部，其至少具有一个用于容纳待升华物料的流化桶，用于使所述待升华物料处于流化状态，所述流化桶具有一个入口和一个出口；进气部，设置在所述流化部的入口处，用于向所述流化桶通入气体；轻组分沉积部，其与所述流化部连通；以及收集部，包括用于收集目标物料的收集桶，所述收集桶通过带有至少一个阀门的连接管与所述流化部连通，所述收集桶内部设置有一个用于与外部真空源相连通的真空管，其中，所述轻组分沉积部包括：轻组分沉积管；进料管，设置在所述轻组分沉积管的一端，与所述轻组分沉积管连通，用于向所述轻组分沉积管通入清洗液或载气；以及出料管，设置在所述轻组分沉积管上且远离所述进料管的一端，与所述轻组分沉积管连通，用于排出清洗液或载气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 铜陵安德科铭电子材料科技有限公司 一种半导体薄膜沉积用前驱体升华装置及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号