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摘要：本申请公开了制备太阳能电池的方法、太阳能电池及其应用，该方法包括：1在硅片的表面进行ALD沉积氧化铝层，ALD沉积氧化铝层包括多个反应循环，每个反应循环均包括依次进行的三甲基铝蒸气脉冲、第一次氮气吹扫、水蒸气脉冲和第二次氮气吹扫；三甲基铝蒸气脉冲时间与水蒸气脉冲时间的比例为1:0.5～1.15；2在氧化气氛下对硅片进行退火处理；3在氧化铝层的远离硅片的表面形成氮化硅层。本申请通过优化ALD沉积氧化铝层的工艺条件，降低了氧化铝层中氢原子的含量，从而降低氧化铝层的爆膜风险。同时，在退火的过程中通入氧化气体可促进硅片和氧化铝之间形成致密的氧化硅层，保证了较为优异的化学钝化效果。
主权项：1.一种制备太阳能电池的方法，其特征在于，包括：1在硅片的表面进行ALD沉积氧化铝层，所述ALD沉积氧化铝层包括多个反应循环，每个反应循环均包括依次进行的三甲基铝蒸气脉冲、第一次氮气吹扫、水蒸气脉冲和第二次氮气吹扫；所述三甲基铝蒸气脉冲时间与所述水蒸气脉冲时间的比例为1:0.5～1.15；2在氧化气氛下对所述硅片进行退火处理；3在所述氧化铝层的远离所述硅片的表面形成氮化硅层。
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百度查询： 天合光能股份有限公司 制备太阳能电池的方法、太阳能电池及其应用
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