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摘要:本发明提供一种驱动效率良好、能够实现功耗的削减的压电驱动装置的控制方法、压电驱动装置以及移动台。压电驱动装置具有:振动部,具备压电元件,通过驱动电压的施加而振动;以及凸部,配置于所述振动部,向被驱动部传递驱动力,所述压电驱动装置的控制方法根据所述凸部的磨损程度来提高所述驱动电压。另外,所述压电元件具有通过所述驱动电压的施加使所述振动部伸缩振动的第一压电元件和通过所述驱动电压的施加使所述振动部弯曲振动的第二压电元件,根据所述凸部的磨损程度,提高施加到所述第一压电元件的所述驱动电压。
主权项:1.一种压电驱动装置的控制方法,其特征在于,所述压电驱动装置具有:振动部,具备压电元件,通过驱动电压的施加而振动;以及凸部,配置在所述振动部,向被驱动部传递驱动力,在所述压电驱动装置的控制方法中,根据所述凸部的磨损程度来提高所述驱动电压。
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百度查询: 精工爱普生株式会社 压电驱动装置的控制方法、压电驱动装置以及移动台
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