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摘要：本发明涉及一种三甲基硅烷的制备方法，具体涉及电子特气制备技术领域，所述制备方法包括：将三甲基氯硅烷滴加与氢化铝锂溶液中进行反应，得到三甲基硅烷；所述反应中三甲基氯硅烷与氢化铝锂的摩尔比为3.8‑4.2:1；所述反应中氢化铝锂的温度为80‑100℃。本发明提供的制备方法，通过采用特定的制备过程参数，控制特定的摩尔比和反应体系温度，实现了高品质三甲基硅烷的制备，所得三甲基硅烷具有较高的纯度的收率。
主权项：1.一种三甲基硅烷的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：将三甲基氯硅烷滴加与氢化铝锂溶液中进行反应，得到三甲基硅烷；所述反应中三甲基氯硅烷与氢化铝锂的摩尔比为3.8-4.2:1；所述反应中氢化铝锂溶液的温度为80-100℃。
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百度查询： 天津绿菱气体股份有限公司 一种三甲基硅烷的制备方法
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