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摘要：本发明属于微波等离子体法化学气相沉积领域，具体涉及一种多个等离子体源组合式表面波等离子体化学气相沉积装置。包括：5.8GHz微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、铜天线、石英介质腔、不锈钢外壁、观察窗口、可水平转动式衬底台结构、衬底加热系统。铜天线安装于矩形波导上，微波经铜天线耦合在石英介质腔下方激发等离子体并伴随表面波。三个等离子体源各自呈120°夹角排列组合，以实现大面积等离子体放电。产生的等离子体在石英介质腔内向下扩散，用于金刚石沉积或表面改性的基底置于反应室底部，衬底台可水平旋转以提高沉积均匀性。本装置主要应用于在热敏感材料上制备金刚石涂层，大尺寸金刚石同质外延，以及材料的表面官能团改性。
主权项：1.一种多个等离子体源组合式表面波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括5.8GHz微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞A、短路活塞B、铜天线、石英介质腔、密封橡胶圈、进气口、不锈钢外壁、等离子体、观察窗口、可水平转动式衬底台结构、出气口；三台5.8GHz微波电源产生的微波能量沿矩形波导传播，经铜天线耦合后进入石英介质腔；调节三销钉调配器和短路活塞A和B，使微波反射系数最小；石英介质腔与不锈钢外壁之间设有密封橡胶圈，在石英介质腔上方设置有进气口，出气口位于衬底台外侧；石英介质腔内部形成强电场区域，激发稀薄的前驱气体形成等离子体并伴随表面波的传输，产生的等离子体在石英介质腔内向下扩散至可水平转动式衬底台结构，观察窗口用于金刚石生长过程中的实时测温。
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百度查询： 北京科技大学 多个等离子体源组合式表面波等离子体化学气相沉积装置
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