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摘要：本发明公开一种基于周期性复合孔洞结构的全方向检测传感器及其制备方法，属于柔性传感器制备技术领域。该传感器包括衬底、传感层和封装层；在衬底上设置有若干个传感区域，每个传感区域均沿衬底的径向布置，相邻传感区域之间的夹角相等；在传感区域处布置有孔洞阵列，且每个传感区域上所布置孔洞阵列的形式均不相同；在传感区域的两侧设置有应力隔离缝隙；所述传感层设置于传感区域的上方，在传感层的端部还设置有导电银浆层，在导电银浆层处缠绕有铜胶带，在铜胶带和导电银浆层之间压入有导线；所述封装层设置于传感层的上方。本发明能够输出方向特征更加明显的多通路信号，有助于实现高精度且高分辨率的全方向检测任务。
主权项：1.一种基于周期性复合孔洞结构的全方向检测传感器，其特征在于：包括衬底、传感层和封装层；在衬底上设置有若干个传感区域，每个传感区域均沿衬底的径向布置，相邻传感区域之间的夹角相等；在传感区域处布置有孔洞阵列，且每个传感区域上所布置孔洞阵列的形式均不相同；在传感区域的两侧设置有应力隔离缝隙；所述传感层设置于传感区域的上方，在传感层的端部还设置有导电银浆层，在导电银浆层处缠绕有铜胶带，在铜胶带和导电银浆层之间压入有导线；所述封装层设置于传感层的上方。
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百度查询： 山东科技大学 一种基于周期性复合孔洞结构的全方向检测传感器及其制备方法
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