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摘要：本发明属于透明导电膜材料技术领域，具体涉及一种可透过紫外的铝掺杂氧化锌电极及其制备方法。本发明采用脉冲激光溅射沉积方法，以氧化铝和氧化锌为靶材，通过采用合适的工作气压、激光波长、脉冲能量、激光聚焦光斑面积、衬底加热温度等工艺制备AZO薄膜。采用本发明方法可以在玻璃衬底上获得厚度均匀的AZO薄膜，获得的AZO薄膜透明电极平整致密，电阻率低至2.8E‑3Ω·cm，对可见光波段400‑760nm的平均透过率高达90％，对近紫外UVA波段320‑400nm的透过率高达85％，可满足前沿蓝光‑紫外发光二极管、蓝光‑紫外光电探测器、高性能太阳能电池等对可透过紫外电极薄膜的要求。
主权项：1.一种可透过紫外的铝掺杂氧化锌电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、采用氧化铝和氧化锌为靶材，并将靶材放入溅射室中；S2、将衬底放入溅射室中，调节衬底与靶材的间距后，抽真空使溅射室气压至5E-5Pa以下；S3、将衬底加热至300℃以上，并调节脉冲激光器的激光脉宽为10-30ns，波长为200-300nm，能量密度为5-17Jcm2，能量为100-300mJ，频率为3-20Hz；之后将激光聚焦为不大于2mm2的光斑辐照溅射室中的靶材，溅射10-40min，则在基底上获得可透过紫外的铝掺杂氧化锌AZO电极。
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百度查询： 佛山大学 一种可透过紫外的铝掺杂氧化锌电极及其制备方法
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