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摘要：本发明实施例公开了一种工件多层改质切割方法、装置、设备及存储介质，本发明实施例在对工件进行多层改质切割的过程中，控制工件载台在切割起点和切割终点之间执行往返运动，并在每个往返周期中确定与不同位置信号相对应的高度补偿值，根据高度补偿值补偿切割过程中工件表面高度的起伏，从而减小工件折射率的不同对切割精度的影响，提高了切割过程中的精确度，解决了现有技术在对工件进行多层改质切割的过程中，存在着切割精确度差的技术问题。
主权项：1.一种工件多层改质切割方法，其特征在于，所述方法适用于工件多层改质切割设备，所述工件多层改质切割设备包括工件载台、X轴驱动单元、高度测量单元、陶瓷电机单元以及激光物镜，所述激光物镜由所述陶瓷电机单元驱动进行升降运动以改变激光焦点的高度；所述工件载台用于带动工件在水平面上的X轴方向移动；所述X轴驱动单元用于驱动所述工件载台沿着X轴方向移动；所述高度测量单元的轴线和所述激光物镜的轴线均垂直所述水平面，且从第一交点指向第二交点的方向线与所述X轴驱动单元的切割起点指向切割终点的方向线相同，所述第一交点和第二交点分别为所述高度测量单元的轴线和所述激光物镜的轴线与所述水平面的交点，所述方法包括：在沿着一个切割道对工件进行多层改质切割的过程中，在进入新的往返周期后，通过所述X轴驱动单元控制所述工件载台在所述切割起点与所述切割终点之间执行一次往返运动，所述往返周期为所述工件载台完成一次所述往返运动的过程；在移动的过程中，实时根据与不同位置信号相对应的高度补偿值控制所述陶瓷电机单元动作，以调整所述激光焦点的高度位置，对所述工件的表面高度的起伏进行补偿；在所述工件载台完成一次往返且所述切割道尚未切割完成的情况下，进入新的往返周期，直至所述切割道完成切割为止；其中，所述高度补偿值在所述工件载台从所述切割起点移动至所述切割终点的过程中，根据所述X轴驱动单元所发送的位置信号、所述高度测量单元发送的高度测量信号、所述第二交点和所述第一交点在X轴上的位置差以及预设的基准高度信号确定。
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