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摘要：本发明公开了一种富硅抗反射涂层树脂及其制备方法、富硅抗反射涂层，所述富硅抗反射涂层树脂具有如式Ⅰ所示的结构，其中，R1选自含有1‑10个直链碳原子的环氧基或者含有1‑10个环链碳原子的环氧基基团；R2选自含有苯基、萘基、吡啶基、噻吩基、苄基的基团；x、y、z的比例为7‑10:0.4‑1:0.3‑1，所述的富硅抗反射涂层树脂的重均分子量为70000‑100000。本发明通过在聚甲基氢硅氧烷上加成含环氧交联基团和吸光基团的碳碳双键单体，得到既存在大量Si‑H键，又含有吸光基团和环氧交联基团的富硅抗反射涂层，可以实现光学参数和交联度的调控，有效提高了树脂稳定性和保存期，降低了储存成本，可以满足不同应用场景下对富硅抗反射涂层刻蚀速率和抗反射性能的要求。
主权项：1.一种富硅抗反射涂层树脂，其特征在于，具有如式Ⅰ所示的结构： 其中，R1选自含有1-10个直链碳原子的环氧基或者含有1-10个环链碳原子的环氧基基团；R2选自含有苯基、萘基、吡啶基、噻吩基、苄基的基团；x、y、z的比例为7-10:0.4-1:0.3-1，所述的富硅抗反射涂层树脂的重均分子量为70000-100000。
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百度查询： 宁波杭州湾新材料研究院 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种富硅抗反射涂层树脂及其制备方法、富硅抗反射涂层
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