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摘要:本申请提供了功率MOSFET器件SOA热稳定性限制线确定方法,包括如下步骤:用半导体热分析设备对被测器件DUT进行结校准、结‑壳稳态热阻Rthjc测量和加热表征测量,通过热仿真获取DUT的瞬态热响应数据;通过计算绘制DUT壳温Tc在25℃下的理想SOA曲线图;测量DUT壳温Tc在25℃下的热不稳定性限制线;将上述热不稳定性限制线向下平行移动30%~40%即是DUT的热稳定性限制线;修剪SOA上无关的点和直线,得到完整的含有热稳定性限制线的SOA曲线图。本申请基于实验数据对SOA中每条最大功率限制线进行了校准,并提供了更多的安全裕量,由此确定的含有热稳定性限制线的功率MOSFET器件SOA曲线图反映的是器件真实地功率处理能力,提高了器件的可靠性,降低了用户的使用风险。
主权项:1.功率MOSFET器件SOA热稳定性限制线确定方法,其特征在于,包括如下步骤:第一步,用半导体热分析设备对被测器件DUT进行结校准、结-壳稳态热阻Rthjc测量和加热表征测量,通过热仿真获取DUT的瞬态热响应数据;第二步,通过计算绘制DUT壳温Tc在25℃下的理想SOA曲线图,由导通电阻限制线、最大电流限制线、最大功率限制线和击穿电压限制线包络;第三步,测量DUT壳温Tc在25℃下的热不稳定性限制线;第四步,将上述热不稳定性限制线向下平行移动30%~40%即是DUT的热稳定性限制线;第五步,修剪SOA上无关的点和直线,得到完整的含有热稳定性限制线的SOA曲线图。
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