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摘要：本发明公开了一种正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法。该正性抗蚀剂组合物包括以下组分：组分A：含有多个重复单元的树脂；组分B：光致产酸剂；组分C：含喹唑啉环的热交联剂；有机溶剂。本发明的正性抗蚀剂组合物采用含喹唑啉环的热交联剂，在成像图形方面展现了良好的耐热性能，经250℃下烘烤60秒后烘后图形形状几乎不变，形状保持良好。
主权项：1.一种正性抗蚀剂组合物，其特征在于，包括以下组分：组分A：含有多个重复单元的树脂，所述树脂选自如式I表示的物质： 式I中，R表示氢原子、卤素、碳数为2-5的烷氧基或碳数为2-5的含杂原子的烷氧基，R1、R2及R3各自独立的表示氢原子、碳数为1～5的烷基或碳数为1～5的卤代烷基；0a≤15％，55％＜b≤65％，c≥20％，n表示1、2或3；所述式I所示物质的重均分子量为10000-15000；组分B:光致产酸剂，所述光致产酸剂选自如下式II表示的物质： 式II中，R1、R2、R3各自独立的表示氢原子、氟原子、碳数为1-6的烷基或碳数为1-6的卤代烷基；n表示1～4的正整数；组分C：含有喹唑啉环的热交联剂，所述热交联剂选自如式III表示的物质： 式III中，R1各自独立的表示氢原子或碳数为1-4的烷基，R2是以下述通式III-1表示的基团： n、n1各自独立的表示1-4的正整数；组分D：有机溶剂。
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