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摘要：一种CMP调节盘制造装置，其包括：钻石夹具，其提供可安置钻石的夹具袋，吸入单元，其向夹具袋选择性地提供吸力，移动单元，其用于将安置在夹具袋上的钻石固定在支撑面上，当钻石被安置在夹具袋中时，吸入单元可以向夹具袋提供吸力，并且当钻石被固定至支撑面时，可以消除吸力。
主权项：1.一种CMP调节盘制造装置，其包括：钻石夹具，其提供可安置钻石的夹具袋；吸入单元，其向所述夹具袋选择性地提供吸力；以及移动单元，其用于将安置在所述夹具袋上的钻石固定在支撑面上。
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百度查询： 二和金刚石工业株式会社 CMP调节盘、CMP调节盘制造装置及制造方法
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