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单晶硅拉晶方法和晶棒 

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摘要:本申请实施例提供一种单晶硅拉晶方法和晶棒。单晶硅拉晶方法包括:在料块的溶化程度满足预设条件的情况下,调整主室炉压至第一炉压,将籽晶与液面溶接,以在第一炉压下进行引晶操作;第一炉压与副室炉压的压差为0Torr‑2Torr;在引晶操作的引晶长度达到第一预设长度的情况下,进行放肩操作;在放肩操作的放肩长度达到第二预设长度的情况下,在第二炉压下进行转肩操作;第二炉压小于第一炉压。本申请实施例通过调整引晶和放肩过程中的主室炉压为与副室炉压相接近,以减缓主室内气体的流动,减少氧气与籽晶接触的机会,从而减少籽晶发彩的情况。

主权项:1.一种单晶硅拉晶方法,其特征在于,包括:在料块的溶化程度满足预设条件的情况下,调整主室炉压至第一炉压,将籽晶与液面溶接,以在所述第一炉压下进行引晶操作;所述第一炉压与副室炉压的压差为0Torr-2Torr;在所述引晶操作的引晶长度达到第一预设长度的情况下,进行放肩操作;在所述放肩操作的放肩长度达到第二预设长度的情况下,在第二炉压下进行转肩操作;所述第二炉压小于所述第一炉压。

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